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한국화학공학회 학술발표회 VOD
2007년도 가을 총회 및 학술대회 목록으로

In-situ Formation of Capping Layer in Cu Chemical Mechanical Polishing

강민철1, 김영준1, 남호성2, 김재정1(1서울대,2한화석유화학)

본 동영상은 화학공학소재연구정보센터(http://www.cheric.org)의 협조를 통해서 제공하고 있습니다.