Issue
Total 37 articles [ 키워드: Silicon ]
No. Article
31 Korean Chemical Engineering Research, 46 (2), pp.408-413 (2008)
저압급속열산화법과 플라즈마확산산화법에 의한 실리콘 산화박막의 제조
Fabrication of Ultrathin Silicon Oxide Layer by Low Pressure Rapid Thermal Oxidation and Remote Plasma Oxidation

고천광, 이원규
32 Korean Chemical Engineering Research, 46 (1), pp.37-49 (2008)
태양전지용 폴리실리콘 제조
Preparation of Polysilicon for Solar Cells

김희영
33 Korean Chemical Engineering Research, 44 (5), pp.513-519 (2006)
마이크로 칩 전기영동에 응용하기 위한 다결정 실리콘 층이 형성된 마이크로 채널의 MEMS 가공 제작
MEMS Fabrication of Microchannel with Poly-Si Layer for Application to Microchip Electrophoresis

김태하, 김다영, 전명석, et al.
34 Korean Chemical Engineering Research, 42 (4), pp.447-450 (2004)
플라즈마 화학증착법에 의한 질화탄소규소 박막의 성장과 Si 나노점 형성
Formation of Si Nano Dots and Silicon Carbon Nitride Films by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

홍주형, 김상훈, 한윤봉
35 HWAHAK KONGHAK, 38 (2), pp.230-235 (2000)
다결정 실리콘 식각 후처리에 대한 세정 효과 해석
The Cleaning Effect Analysis on Post Treatment of Polysilicon Etching

이창원, 이종대, 최상준, et al.
36 HWAHAK KONGHAK, 35 (4), pp.504-513 (1997)
HF-산화제-H2O 수용액에서 Si 식각반응의 속도론적 연구
A Study on Kinetics of Silicon Etching Reaction in HF-Oxidizing Agents-H2O Solutions

서영훈, 김선중, 김광철, et al.
37 HWAHAK KONGHAK, 34 (4), pp.401-406 (1996)
초임계 이산화탄소를 이용한 다공성 Silicone Rubber의 제조
Preparation of Porous Silicone Rubber Using Supercritical Carbon Diocide

이승범, 김형진, 홍인권
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