|
|
| Total 37 articles [ 키워드: Silicon ] |
| No. |
Article |
| 31 |
Korean Chemical Engineering Research, 46 (2), pp.408-413 (2008)
저압급속열산화법과 플라즈마확산산화법에 의한 실리콘 산화박막의 제조
Fabrication of Ultrathin Silicon Oxide Layer by Low Pressure Rapid Thermal Oxidation and Remote Plasma Oxidation
고천광, 이원규 |
| 32 |
Korean Chemical Engineering Research, 46 (1), pp.37-49 (2008)
태양전지용 폴리실리콘 제조
Preparation of Polysilicon for Solar Cells
김희영 |
| 33 |
Korean Chemical Engineering Research, 44 (5), pp.513-519 (2006)
마이크로 칩 전기영동에 응용하기 위한 다결정 실리콘 층이 형성된 마이크로 채널의 MEMS 가공 제작
MEMS Fabrication of Microchannel with Poly-Si Layer for Application to Microchip Electrophoresis
김태하, 김다영, 전명석, et al. |
| 34 |
Korean Chemical Engineering Research, 42 (4), pp.447-450 (2004)
플라즈마 화학증착법에 의한 질화탄소규소 박막의 성장과 Si 나노점 형성
Formation of Si Nano Dots and Silicon Carbon Nitride Films by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
홍주형, 김상훈, 한윤봉 |
| 35 |
HWAHAK KONGHAK, 38 (2), pp.230-235 (2000)
다결정 실리콘 식각 후처리에 대한 세정 효과 해석
The Cleaning Effect Analysis on Post Treatment of Polysilicon Etching
이창원, 이종대, 최상준, et al. |
| 36 |
HWAHAK KONGHAK, 35 (4), pp.504-513 (1997)
HF-산화제-H2O 수용액에서 Si 식각반응의 속도론적 연구
A Study on Kinetics of Silicon Etching Reaction in HF-Oxidizing Agents-H2O Solutions
서영훈, 김선중, 김광철, et al. |
| 37 |
HWAHAK KONGHAK, 34 (4), pp.401-406 (1996)
초임계 이산화탄소를 이용한 다공성 Silicone Rubber의 제조
Preparation of Porous Silicone Rubber Using Supercritical Carbon Diocide
이승범, 김형진, 홍인권 |
|
|
