Issue
Total 70 articles [ 키워드: Plasma ]
No. Article
51 HWAHAK KONGHAK, 40 (2), pp.188-195 (2002)
플라즈마 처리된 폴리설폰 막의 CO2/N2 혼합가스의 투과분리에 대한 연구
Studies on CO2/N2 Mixture Gas Permeation and Separation through Polysulfone Membrane Treated by Plasma Treatment

안형준, 노상호, 배성렬, et al.
52 HWAHAK KONGHAK, 40 (1), pp.121-127 (2002)
유전체 플라즈마 방전을 이용한 톨루엔 분해 공정에서 충진물, 인가 전압, 가스 조성 및 전압 극성이 분해효율 및 전력 전달에 미치는 영향
Influences of Packing Materials, Applied Voltage, Gas Composition and Voltage Polarity on the Decomposition of Toluene and the Power Delivery in a Dielectric Barrier Plasma Reactor

목영선, 이호원, 현영진, et al.
53 HWAHAK KONGHAK, 39 (5), pp.573-578 (2001)
다층금속배선공정 중 세정 공정에서 발생하는 텅스텐 부식
Tungsten Corrosion during Wet Cleaning Process in Multilevel Metallization

신강섭, 이원규
54 HWAHAK KONGHAK, 39 (3), pp.357-360 (2001)
플라즈마 공정에 의해 생성된 부산물의 분석
Analysis of the Byproducts Formed by Plasma Process

김경숙, 양석란, 장경룡, et al.
55 HWAHAK KONGHAK, 39 (1), pp.23-29 (2001)
고밀도 플라즈마 발생장치 2차원 모델링
Two-Dimensional Modeling of High-Density Plasma Source

이상덕, 신치범, Berezhnoj S
56 HWAHAK KONGHAK, 39 (1), pp.77-84 (2001)
층간 절연막으로 응용하기 위한 저 유전체 불화탄소 플라즈마 고분자/SiO2 복합박막의 증착
Deposition of Low-Dielectric Fluorocarbon Plasma Polymer/SiO2 Composite Thin Film for Inter-layer Dielectric(ILD) Application

김동선, 강나경
57 HWAHAK KONGHAK, 39 (1), pp.85-90 (2001)
RF Low Energy Plasma Beam에 의한 다이아몬드 특성을 갖는 탄소 박막의 증착
Deposition of Diamond-like Carbon Thin Film by RF Low Energy Plasma Beam

김동선
58 HWAHAK KONGHAK, 38 (6), pp.869-876 (2000)
SiH4 플라즈마 반응기에서 플라즈마 화학과 결합된 입자 거동 분석
Analysis on Particle Movements Combined with the Plasma Chemistry in SiH4 Plasma Reactor

김교선, 김동주
59 HWAHAK KONGHAK, 38 (5), pp.711-718 (2000)
펄스 코로나 방전 공정에 의한 NOx 제거시의 플라즈마 화학 및 미립자 특성에 대한 수치분석
Numerical Analysis on Plasma Chemistry and Particle Characteristics in NOx Removal by Pulsed Corona Discharge Process

김동주, 김교선
60 HWAHAK KONGHAK, 38 (4), pp.529-535 (2000)
방전플라스마에 의한 NOχ와 SO2의 제거
Removal of NOx and SO2by Discharge Plasma

강현춘, 우인성, 강안수
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