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Total 70 articles [ 키워드: Plasma ] |
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Article |
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HWAHAK KONGHAK, 40 (2), pp.188-195 (2002) 플라즈마 처리된 폴리설폰 막의 CO2/N2 혼합가스의 투과분리에 대한 연구 Studies on CO2/N2 Mixture Gas Permeation and Separation through Polysulfone Membrane Treated by Plasma Treatment 안형준, 노상호, 배성렬, et al. |
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HWAHAK KONGHAK, 40 (1), pp.121-127 (2002) 유전체 플라즈마 방전을 이용한 톨루엔 분해 공정에서 충진물, 인가 전압, 가스 조성 및 전압 극성이 분해효율 및 전력 전달에 미치는 영향 Influences of Packing Materials, Applied Voltage, Gas Composition and Voltage Polarity on the Decomposition of Toluene and the Power Delivery in a Dielectric Barrier Plasma Reactor 목영선, 이호원, 현영진, et al. |
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HWAHAK KONGHAK, 39 (5), pp.573-578 (2001) 다층금속배선공정 중 세정 공정에서 발생하는 텅스텐 부식 Tungsten Corrosion during Wet Cleaning Process in Multilevel Metallization 신강섭, 이원규 |
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HWAHAK KONGHAK, 39 (3), pp.357-360 (2001) 플라즈마 공정에 의해 생성된 부산물의 분석 Analysis of the Byproducts Formed by Plasma Process 김경숙, 양석란, 장경룡, et al. |
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HWAHAK KONGHAK, 39 (1), pp.23-29 (2001) 고밀도 플라즈마 발생장치 2차원 모델링 Two-Dimensional Modeling of High-Density Plasma Source 이상덕, 신치범, Berezhnoj S |
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HWAHAK KONGHAK, 39 (1), pp.77-84 (2001) 층간 절연막으로 응용하기 위한 저 유전체 불화탄소 플라즈마 고분자/SiO2 복합박막의 증착 Deposition of Low-Dielectric Fluorocarbon Plasma Polymer/SiO2 Composite Thin Film for Inter-layer Dielectric(ILD) Application 김동선, 강나경 |
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HWAHAK KONGHAK, 39 (1), pp.85-90 (2001) RF Low Energy Plasma Beam에 의한 다이아몬드 특성을 갖는 탄소 박막의 증착 Deposition of Diamond-like Carbon Thin Film by RF Low Energy Plasma Beam 김동선 |
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HWAHAK KONGHAK, 38 (6), pp.869-876 (2000) SiH4 플라즈마 반응기에서 플라즈마 화학과 결합된 입자 거동 분석 Analysis on Particle Movements Combined with the Plasma Chemistry in SiH4 Plasma Reactor 김교선, 김동주 |
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HWAHAK KONGHAK, 38 (5), pp.711-718 (2000) 펄스 코로나 방전 공정에 의한 NOx 제거시의 플라즈마 화학 및 미립자 특성에 대한 수치분석 Numerical Analysis on Plasma Chemistry and Particle Characteristics in NOx Removal by Pulsed Corona Discharge Process 김동주, 김교선 |
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HWAHAK KONGHAK, 38 (4), pp.529-535 (2000) 방전플라스마에 의한 NOχ와 SO2의 제거 Removal of NOx and SO2by Discharge Plasma 강현춘, 우인성, 강안수 |
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