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| Total 8 articles [ 키워드: Interconnect ] |
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Article |
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Korean Chemical Engineering Research, 59 (4), pp.632-638 (2021)
아민과 카르복실산이 함유된 수계용액의 구리 배선 공정의 세정특성
Cleaning Behavior of Aqueous Solution Containing Amine or Carboxylic Acid in Cu-interconnection Process
고천광, 이원규 |
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Korean Chemical Engineering Research, 52 (1), pp.26-39 (2014)
반도체 소자용 구리 배선 형성을 위한 전해 도금
Electrodeposition for the Fabrication of Copper Interconnection in Semiconductor Devices
김명준, 김재정 |
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Korean Chemical Engineering Research, 50 (3), pp.562-566 (2012)
세그먼트 관형 SOFC의 제작 및 특성 평가
Fabrication and Property Evaluation of Tubular Segmented-in-Series Solid Oxide Fuel Cell (SOFC)
윤의진, 이종원, 이승복, et al. |
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Korean Chemical Engineering Research, 49 (6), pp.710-714 (2011)
Thermal Plasma Spray Coating 법에 의해 코팅된 SOFC용 세라믹 연결재 특성 분석
Property Analysis of Ceramic Interconnect Prepared by Thermal Plasma Spray Coating Method for SOFC
박광연, 피석훈, 이종원, et al. |
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Korean Chemical Engineering Research, 48 (2), pp.172-177 (2010)
LSC가 코팅된 고체산화물 연료전지용 금속연결재의 특성 연구
Characteristics of LSC coated Metallic Interconnect for Solid Oxide Fuel Cell
표성수, 이승복, 임탁형, et al. |
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Korean Chemical Engineering Research, 47 (2), pp.141-149 (2009)
구리 및 은 금속 배선을 위한 전기화학적 공정
Electrochemical Metallization Processes for Copper and Silver Metal Interconnection
권오중, 조성기, 김재정 |
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Korean Chemical Engineering Research, 47 (1), pp.1-10 (2009)
3차원 집적회로 반도체 칩 기술에 대한 경향과 전망
Trend and Prospect for 3Dimensional Integrated-Circuit Semiconductor Chip
권용재 |
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Korean Chemical Engineering Research, 46 (6), pp.1135-1141 (2008)
고온수증기전기분해용 La1-x(Ca or Sr)xCrO3(x=0 and 0.25) 연결재 재료 연구
Investigation of the La1-x(Ca or Sr)xCrO3(x=0 and 0.25) Interconnect Materials for High Temperature Electrolysis of Steam
정소라, 강경수, 박주식, et al. |
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