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Total 1 articles [ 키워드: Cavernous Undercut ]
No. Article
1 HWAHAK KONGHAK, 34 (4), pp.502-510 (1996)
플라즈마 식각에서 마스크의 경사진 단면모양이 식각단면에 미치는 영향에 관한 전산모사 연구
Simulation Study on the Effect of Tapered Mask Geometry on Etching
조병옥, 한재현, 김일욱, et al.