Issue
Total 22 articles [ 저자: 이원규 ]
No. Article
1 Korean Chemical Engineering Research, 60 (3), pp.452-458 (2022)
기-액 하이브리드 대기압 플라즈마 반응기 제작 및 특성 분석
Fabrication and Characterization of Gas-liquid Hybrid Reactor Equipped with Atmospheric Pressure Plasma

권흥수, 이원규
2 Korean Chemical Engineering Research, 59 (4), pp.632-638 (2021)
아민과 카르복실산이 함유된 수계용액의 구리 배선 공정의 세정특성
Cleaning Behavior of Aqueous Solution Containing Amine or Carboxylic Acid in Cu-interconnection Process

고천광, 이원규
3 Korean Chemical Engineering Research, 59 (3), pp.443-449 (2021)
전분-구연산을 기반으로 한 생분해성 비산방지용 소재의 제조 및 특성 분석
Manufacturing and Characteristics of Biodegradable Materials Based on Starch-Citric Acid for Anti-Particulate Scattering

이지성, 이원규
4 Korean Chemical Engineering Research, 58 (3), pp.474-479 (2020)
유리기판 박막화를 위한 습식공정에서 식각액 성분의 영향
Effects of Ingredients of Wet Etchant on Glass Slimming Process

신영식, 이원규
5 Korean Chemical Engineering Research, 54 (4), pp.548-554 (2016)
산화구리 잔유물 제거를 위한 카르복시산 함유 반수계 용액의 세정특성
Characteristics of Semi-Aqueous Cleaning Solution with Carboxylic Acid for the Removal of Copper Oxides Residues

고천광, 이원규
6 Korean Chemical Engineering Research, 49 (6), pp.835-839 (2011)
토치형 상압 플라즈마의 방전특성과 미생물의 국부 살균효과
Discharge Properties of Torch-Type Atmospheric Pressure Plasma and Its Local Disinfection of Microorganism

손향호, 이원규
7 Korean Chemical Engineering Research, 48 (3), pp.355-358 (2010)
유도 결합형 저온 플라즈마 처리에 따른 폴리카보네이트 표면 특성 변화
Influence of Inductively Coupled Plasma on Surface Properties of Polycarbonate

원동수, 이원규
8 Korean Chemical Engineering Research, 47 (1), pp.79-83 (2009)
Cl2/HBr/O2 고밀도 플라즈마에서 비정질 실리콘 게이트 식각공정 특성
Characteristics of Amorphous Silicon Gate Etching in Cl2/HBr/O2 High Density Plasma

이원규
9 Korean Chemical Engineering Research, 46 (2), pp.408-413 (2008)
저압급속열산화법과 플라즈마확산산화법에 의한 실리콘 산화박막의 제조
Fabrication of Ultrathin Silicon Oxide Layer by Low Pressure Rapid Thermal Oxidation and Remote Plasma Oxidation

고천광, 이원규
10 Korean Chemical Engineering Research, 45 (6), pp.638-647 (2007)
생산유전의 CO2 공법 적용성 평가를 위한 평가차트 개발 및 응용
The Development of Evaluation Chart for the Applicability of CO2 Flooding in Oil Reservoirs and Its Applications

권순일, 조현진, 하세훈, et al.
1 [2] [3]