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Total 1 articles [ 저자: 윤진구 ]
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1 HWAHAK KONGHAK, 40 (4), pp.529-533 (2002)
TiAIN 박막의 Electrical Resistivity에 대한 증착 변수의 영향
The Effect of Deposition Parameter on Electrical Resistivity of TiAlN Thin Film

송영수, 변요한, 김혜인, et al.