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학술행사안내

제목 The 8th ICMAP & The 9th ISFM
성명 한국화학공학회 작성일 2020-12-11 조회 472
첨부


[D-3] CALL FOR ABSTRACTS

초록 접수 마감일 연장: 2020 12 14 ()

 

안녕하십니까,

 

한국진공학회 주관으로, The 8th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology(The 8th ICMAP) & The 9th International Symposium on Functional Materials(The 9th ISFM) 다가오는 2021 1 17~20일에 /오프라인 하이브리드 형태로 개최됩니다.

 

현재 The 8th ICMAP & The 9th ISFM 초록 접수가 지난 2020 7 1 오픈 되어 접수 진행 중에 있으며, 많은 저자분들의 요청에 의해 마감일이 12 14() 연장되었습니다!

 

특히, BK 21 국제 학술대회 요건을 충족하고 있으며, 『오프라인 튜토리얼 세션』과 『오프라인 스페셜 세션』도 마련하고 있으니, 아직 제출?• ?지 않은 저자분들은 마감일 내에 서둘러 초록 제출을 완료하여 주시기 바랍니다.

 

[초록 접수 가이드라인]   [초록 접수 시스템]

 

이번 국제 학회가 성공적으로 개최될 수 있도록 초록 접수 및 참석에 각별한 관심을 가져 주시면 대단히 감사하겠습니다.

 

※ 코로나19 사회적 거리두기 단계에 따라, 오프라인 세션은 온라인 스트리밍으로 전환되어 진행될 수 있습니다.

 

Topics

  1. Plasma Bioscience & Medicine

  2. Plasma Processing for Semiconductor and Display Devices

  3. Plasma Processes for Nanomaterial Development

  4. Plasma Diagnostics and Process Monitoring Technology

  5. Plasma Sources and Technology

  6. Plasma Modeling and Simulation Techniques

  7. 2D Materials and Their Application to Nano/Micro Devices

  8. Flexible and Stretchable Displays & Sensors

  9. Energy Related Devices

  10. Functional Materials - Synthesis, Characterizations, and Application

>> 더보기: http://icmap2020.org/topics.php

 

Plenary Speakers

CEO. Changjin Kang (SEMES, Korea)

Prof. Shu-Hong Yu (Univ. of Sci. and Tech. of China, China)

Prof. Peter Bruggeman (Univ. of Minnesota, USA)

Prof. Eric Robert (Univ. Orleans, France)

Vice-President. Hyeon Gon Lee (Nat'l Fusion Research Inst., Korea)

>> 더보기: http://icmap2020.org/plenarys.php

 

오프라인 스페셜 세션

연구소

KFE (윤정식 박사)

데이터기반의 플라즈마 공정장비 지능화 기술 개발

KRISS (이효창 박사)

플라즈마 정밀 측정 기술 및 TTTM Solution

학교

전북대학교 (임연호 교수)

Toward Predictable 3D Topography Simulation of the Emerging Plasma Processes

산업체

삼성전자 (양원석 박사)

공정별Wafer Edge Risk, 그리고소--장 발전방향 제언

***** (***)

미정

SEMES (김성제 박사)

Challenges and Future Prospects in Plasma Etching Processes

TEL (박영우 CTO)

미정

원익 IPS (신형주 상무)

Challenges and Opportunities for Plasma Deposition Equipments Technology

 

오프라인 튜토리얼 세션 (http://www.icmap2020.org/tutorial02.php)

 

튜토리얼 세션 1 : 시뮬레이션 

발표제목

발표연사

TBA

주정훈 교수 (군산대학교)

TBA

최희환 교수 (한국항공대학교)

TBA

김호준 교수 (가천대학교)

 

튜토리얼 세션 2 : 분석기술

발표제목

발표연사

XPS

전철호 박사 (KBSI)

SIMS

홍태은 박사 (KBSI)

TEM/SEM

장재혁 박사 (KBSI)

XRD

김희진 박사 (KBSI)

 

튜토리얼 세션 3 : 진단

발표제목

발표연사

플라즈마 광진단 및 기계학습에 의한 광학신호 분석

채희엽 교수 (성균광대학교)

플라즈마 전기적 진단법

TBA

 

튜토리얼 세션 4 : Atomic Layer Deposition (ALD)

발표제목

발표연사

ALD Principle

TBA

ALD Precursors

TBA

ALD Applications

TBA

 

튜토리얼 세션 5 : Atomic Layer Etching (ALE)

발표제목

발표연사

ALD Principle

김경남 교수 (연세대학교)

Anisotropic ALE

염근영 교수 (성균관대학교)

Isotropic ALE

채희엽 교수 (성균관대학교)

 

Online Tutorial Sessions (http://www.icmap2020.org/tutorial.php< span style='color: black; font-family: "Arial","sans-serif"; font-size: 10pt; mso-bidi-font-weight: bold; mso-bidi-font-size: 11.0pt; mso-fareast-font-family: "맑은 고딕";'>)

 

Tutorial Session 1 : Bioplasma

발표제목

발표연사

TBA

Prof. David Graves (Univ. of California, USA)

TBA

Dr. Kai Masur (INP, Germany)

TBA

Prof. Eun Ha Choi (Kwangwoon Univ., Korea)

 

Tutorial Session 2 : Introduction to Plasma Process for Semiconductor Fabrication

발표제목

발표연사

Introduction to Plasma Process for Semiconductor Fabrication

Prof. ShinJae You (Chungnam Natl Univ., Korea)

 

Manuscripts

  1. Journal of Nanoscience and Nanotechnology (JNN)

  2. Thin Solid Films

  3. Functional Materials Letters

  4. Materials Express

  5. Applied Science and Convergence Technology (ASCT)

  6. Physics of Plasmas

  7. Plasma Research Express

  8. Micromachines

>> 더보기: http://www.icmap2020.org/manuscript.php

 

본 국제 학회에 문의 사항이 있으시면 언제든지 사무국으로 연락 주시기 바랍니다.

 

Organizing Committee Chairs

최치규 교수님 (Honorary Chair, 제주대학교)

유석재 원장님 (Conference Chair, 한국핵융합에너지연구원)

부진효 교수님 (Conference Chair, 성균관대학교)
 

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