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Search / Korean Journal of Chemical Engineering
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| Total 8 articles [ 키워드: Wafer ] |
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Article |
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Korean Chemical Engineering Research, 51 (6), pp.666-670 (2013)
인산-산성불화암모늄-킬레이트제 혼합용액에 의한 폐태양전지로부터 실리콘웨이퍼의 회수
Recovery of Silicon Wafers from the Waste Solar Cells by H3PO4-NH4HF2-Chelating Agent Mixed Solution
구수진, 주창식 |
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Korean Chemical Engineering Research, 46 (3), pp.619-625 (2008)
무기 및 유기 박막을 포함하는 웨이퍼 적층 구조의 본딩 결합력
Bond Strength of Wafer Stack Including Inorganic and Organic Thin Films
권용재, 석종원 |
| 3 |
Korean Chemical Engineering Research, 45 (5), pp.466-472 (2007)
저유전체 고분자 접착 물질을 이용한 웨이퍼 본딩을 포함하는 웨이퍼 레벨 3차원 집적회로 구현에 관한 연구
A Study on Wafer-Level 3D Integration Including Wafer Bonding using Low-k Polymeric Adhesive
권용재, 석종원, Lu JQ, et al. |
| 4 |
Korean Chemical Engineering Research, 45 (5), pp.479-486 (2007)
BCB 수지로 본딩한 웨이퍼의 본딩 결합력에 관한 연구
A Study on the Bond Strength of BCB-bonded Wafers
권용재, 석종원, Lu JQ, et al. |
| 5 |
Korean Chemical Engineering Research, 45 (2), pp.203-207 (2007)
불산-오존-희석 암모니아수 세정에 의한 실리콘 웨이퍼 표면의 미세입자 제거
Particle Removal on Silicon Wafer Surface by Ozone-HF-NH4OH Sequence
이건호, 배소익 |
| 6 |
HWAHAK KONGHAK, 40 (6), pp.681-686 (2002)
건조 공정 중 요소 수지 성형재료의 경화 특성에 대한 물질전달 효과
The Effect of Mass Transfer on the Cure Properties of the Urea Resin Moulding Compounds Under the Drying Process
김상렬, 최일곤, 김병철 |
| 7 |
HWAHAK KONGHAK, 39 (6), pp.715-720 (2001)
ESCA를 이용한 웨이퍼의 세정도 측정
Measurement of Cleanliness of Wafer by ESCA
이광진, 정용안, 노경호 |
| 8 |
HWAHAK KONGHAK, 35 (4), pp.504-513 (1997)
HF-산화제-H2O 수용액에서 Si 식각반응의 속도론적 연구
A Study on Kinetics of Silicon Etching Reaction in HF-Oxidizing Agents-H2O Solutions
서영훈, 김선중, 김광철, et al. |
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