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Total 1 articles [ 키워드: Pd Surface Activation ]
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1 HWAHAK KONGHAK, 39 (6), pp.721-726 (2001)
갈바니 치환 증착 방법을 이용한 확산방지막 위에서의 구리 시드층 형성
Fabrication of Cu Seed Layer on TiN Barrier using Galvanic Displacement Deposition

김재정, 강무성