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Search / Korean Journal of Chemical Engineering
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| Total 6 articles [ 키워드: PECVD ] |
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Article |
| 1 |
Korean Chemical Engineering Research, 50 (3), pp.574-581 (2012)
PECVD에 의한 OLED 소자의 Thin Film Passivation 특성
Characterization of Thin Film Passivation for OLED by PECVD
김관도, 장석희, 김종민, et al. |
| 2 |
Korean Chemical Engineering Research, 46 (3), pp.619-625 (2008)
무기 및 유기 박막을 포함하는 웨이퍼 적층 구조의 본딩 결합력
Bond Strength of Wafer Stack Including Inorganic and Organic Thin Films
권용재, 석종원 |
| 3 |
Korean Chemical Engineering Research, 46 (2), pp.389-396 (2008)
고온 열순환 공정이 BCB와 PECVD 산화규소막 계면의 본딩 결합력에 미치는 영향에 대한 연구
A Study on the Effects of High Temperature Thermal Cycling on Bond Strength at the Interface between BCB and PECVD SiO2 Layers
권용재, 석종원, Lu JQ, et al. |
| 4 |
Korean Chemical Engineering Research, 46 (1), pp.50-55 (2008)
RF Plasma CVD법에 의해 증착된 카본나노튜브(CNT)의 특성에 대한 기판 온도의 영향
The Effects of Substrate Temperature on Properties of Carbon Nanotube Films Deposited by RF Plasma CVD
김동선 |
| 5 |
Korean Chemical Engineering Research, 42 (4), pp.447-450 (2004)
플라즈마 화학증착법에 의한 질화탄소규소 박막의 성장과 Si 나노점 형성
Formation of Si Nano Dots and Silicon Carbon Nitride Films by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
홍주형, 김상훈, 한윤봉 |
| 6 |
HWAHAK KONGHAK, 39 (1), pp.85-90 (2001)
RF Low Energy Plasma Beam에 의한 다이아몬드 특성을 갖는 탄소 박막의 증착
Deposition of Diamond-like Carbon Thin Film by RF Low Energy Plasma Beam
김동선 |
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