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Search / Korean Journal of Chemical Engineering
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| Total 3 articles [ 키워드: Interconnection ] |
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Korean Chemical Engineering Research, 59 (4), pp.632-638 (2021)
아민과 카르복실산이 함유된 수계용액의 구리 배선 공정의 세정특성
Cleaning Behavior of Aqueous Solution Containing Amine or Carboxylic Acid in Cu-interconnection Process
고천광, 이원규 |
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Korean Chemical Engineering Research, 52 (1), pp.26-39 (2014)
반도체 소자용 구리 배선 형성을 위한 전해 도금
Electrodeposition for the Fabrication of Copper Interconnection in Semiconductor Devices
김명준, 김재정 |
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Korean Chemical Engineering Research, 47 (2), pp.141-149 (2009)
구리 및 은 금속 배선을 위한 전기화학적 공정
Electrochemical Metallization Processes for Copper and Silver Metal Interconnection
권오중, 조성기, 김재정 |
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