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Search / Korean Journal of Chemical Engineering
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| Total 2 articles [ 키워드: DC Magnetron Sputtering ] |
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Article |
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Korean Chemical Engineering Research, 49 (2), pp.195-199 (2011)
DC 마그네트론 스퍼터링 방법에 의해 증착된 Mo 박막의 특성
Characteristics of Mo Thin Films Deposited by DC Magnetron Sputtering
공선미, 소우빈, 김은호, et al. |
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HWAHAK KONGHAK, 40 (4), pp.529-533 (2002)
TiAIN 박막의 Electrical Resistivity에 대한 증착 변수의 영향
The Effect of Deposition Parameter on Electrical Resistivity of TiAlN Thin Film
송영수, 변요한, 김혜인, et al. |
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