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Search / Korean Journal of Chemical Engineering
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| Total 13 articles [ 키워드: Cleaning ] |
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Article |
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HWAHAK KONGHAK, 39 (6), pp.715-720 (2001)
ESCA를 이용한 웨이퍼의 세정도 측정
Measurement of Cleanliness of Wafer by ESCA
이광진, 정용안, 노경호 |
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HWAHAK KONGHAK, 38 (2), pp.230-235 (2000)
다결정 실리콘 식각 후처리에 대한 세정 효과 해석
The Cleaning Effect Analysis on Post Treatment of Polysilicon Etching
이창원, 이종대, 최상준, et al. |
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HWAHAK KONGHAK, 34 (3), pp.346-355 (1996)
얼음 미립자 제트에 의한 표면 세척(I) 에어러졸의 제조와 저압 Impaction
Surface Cleaning by Ice-Particle Jet(I) - Preparation of Aerosols and Its Low-Pressure Impaction-
주동운, 정종헌, 김선근 |
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