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Search / Korean Journal of Chemical Engineering
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| Total 13 articles [ 키워드: Cleaning ] |
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Article |
| 1 |
Korean Chemical Engineering Research, 60 (3), pp.452-458 (2022)
기-액 하이브리드 대기압 플라즈마 반응기 제작 및 특성 분석
Fabrication and Characterization of Gas-liquid Hybrid Reactor Equipped with Atmospheric Pressure Plasma
권흥수, 이원규 |
| 2 |
Korean Chemical Engineering Research, 59 (4), pp.632-638 (2021)
아민과 카르복실산이 함유된 수계용액의 구리 배선 공정의 세정특성
Cleaning Behavior of Aqueous Solution Containing Amine or Carboxylic Acid in Cu-interconnection Process
고천광, 이원규 |
| 3 |
Korean Chemical Engineering Research, 48 (3), pp.401-404 (2010)
전자·반도체용 스프레이 세정제에 대한 분사력 및 세정성 평가
Evaluation of Cleanliness and Jet Forces by Spray-Type Cleaning Agent for Electronic and Semiconductor Equipment
허효정, 정용안, 노경호 |
| 4 |
Korean Chemical Engineering Research, 47 (1), pp.31-37 (2009)
QCM(Quartz Crystal Microbalance)을 이용한 Betaine 양쪽성 계면활성제의 등전점 측정
Measurement of Isoelectric Point of Betaine Zwitterionic Surfactant by QCM(Quartz Crystal Microbalance)
김지성, 박준석, 임종주 |
| 5 |
Korean Chemical Engineering Research, 45 (2), pp.203-207 (2007)
불산-오존-희석 암모니아수 세정에 의한 실리콘 웨이퍼 표면의 미세입자 제거
Particle Removal on Silicon Wafer Surface by Ozone-HF-NH4OH Sequence
이건호, 배소익 |
| 6 |
Korean Chemical Engineering Research, 43 (4), pp.487-494 (2005)
한외여과막시스템을 이용한 금속가공폐수의 실험실적 처리 및 현장 적용 연구
A Study on Laboratory Treatment of Metalworking Wastewater Using Ultrafiltration Membrane System and Its Field Application
배재흠, 황인국, 전성덕 |
| 7 |
Korean Chemical Engineering Research, 43 (1), pp.27-32 (2005)
공용매로 변형된 초임계 이산화탄소를 이용한 이온 주입 포토레지스트 세정
Stripping of Ion-Implanted Photoresist Using Cosolvent-Modified Supercritical Carbon Dioxide
정인일, 김주원, 이상윤, et al. |
| 8 |
HWAHAK KONGHAK, 40 (6), pp.769-777 (2002)
W/O Microemulsion 세정제의 물성 및 세정성 평가
Evaluation of Cleanness and Physical Properties of W/O Microemulsion
이명진, 한지원, 이호열, et al. |
| 9 |
HWAHAK KONGHAK, 40 (3), pp.382-387 (2002)
원거리 플라즈마에 의한 Photo-Resist 세정과 In-situ 표면 분석
In-situ Surface Analysis and Photo-Resist Cleaning by Remote Plasma
소현, 전형탁, 김영채 |
| 10 |
HWAHAK KONGHAK, 40 (1), pp.106-113 (2002)
준수계 세정제의 물성 및 세정성 평가
Evaluation of Cleanness and Physical Properties of Semi-Aqueous Cleaning Agents
박병덕, 이명진, 한지원, et al. |
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