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Search / Korean Journal of Chemical Engineering
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Total 2 articles [ 저자: 한재현 ] |
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Article |
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HWAHAK KONGHAK, 34 (4), pp.502-510 (1996) 플라즈마 식각에서 마스크의 경사진 단면모양이 식각단면에 미치는 영향에 관한 전산모사 연구 Simulation Study on the Effect of Tapered Mask Geometry on Etching 조병옥, 한재현, 김일욱, et al. |
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HWAHAK KONGHAK, 32 (3), pp.431-440 (1994) 이온의 탄성충돌모델에 의한 플라즈마 식각단면의 전산모사 Simulation of Plasma Etch Profile based on a Model of Elastic Collision between Ions and Neutrals 한재현, 조병옥, 정찬화, et al. |
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