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Search / Korean Journal of Chemical Engineering
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| Total 2 articles [ 저자: 정찬화 ] |
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Article |
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HWAHAK KONGHAK, 32 (3), pp.431-440 (1994)
이온의 탄성충돌모델에 의한 플라즈마 식각단면의 전산모사
Simulation of Plasma Etch Profile based on a Model of Elastic Collision between Ions and Neutrals
한재현, 조병옥, 정찬화, et al. |
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HWAHAK KONGHAK, 29 (5), pp.614-621 (1991)
저압화학증착공정에서 미세선폭 도랑내의 박박 형성에 대한 전산모사
Simulation of Film Growth in Narrow Deep Trench Low Pressure CVD
정찬화, 윤형진, 박신종, et al. |
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