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Search / Korean Journal of Chemical Engineering
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| Total 3 articles [ 저자: 전법주 ] |
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Article |
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Korean Chemical Engineering Research, 43 (1), pp.85-91 (2005)
PET 기판상에 ECR 화학증착법에 의해 제조된 SnO2 투명도전막의 특성
Characteristics of Transparent Conductive Tin Oxide Thin Films on PET Substrate Prepared by ECR-MOCVD
김연석, 전법주, 주재백, et al. |
| 2 |
HWAHAK KONGHAK, 35 (6), pp.900-907 (1997)
ECR플리즈마를 이용한 실리콘 산화막의 제조
Preparation of Silicon Dioxide Film by ECR Plasma
전법주, 오인환, 임태훈, et al. |
| 3 |
HWAHAK KONGHAK, 35 (3), pp.374-379 (1997)
ECR플라즈마를 이용한 화학증착법에 의해 제조된 실리콘 산화막의 특성
Characteristics of Silicon Oxide Films Prepared by Chemical Vapor Deposition Using ECR Plasma Source
전법주, 오인환, 임태훈, et al. |
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