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Search / Korean Journal of Chemical Engineering
Total 2 articles [ 저자: 남철우 ]
No. Article
1 HWAHAK KONGHAK, 31 (6), pp.675-682 (1993)
CF4/O2 식각 가스계를 사용한 텅스텐 박막의 건식 식각 연구
Dry Etching of Tungsten Films in CF4/O2 Gas System
권성구, 남철우, 우성일
2 HWAHAK KONGHAK, 29 (3), pp.336-344 (1991)
공정 변수에 따른 PECVD질화규소 박막 특성에 관한 연구
The Effect of Process Parameters on the Properties of PECVD Silicon Nitride Film
남철우, 우성일, 김용태