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Search / Korean Journal of Chemical Engineering
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| Total 7 articles [ 저자: 김재정 ] |
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Article |
| 1 |
Korean Chemical Engineering Research, 56 (6), pp.895-900 (2018)
B와 W의 함량이 무전해 Co 합금 박막의 경도에 미치는 영향 연구
Effect of B and W Contents on Hardness of Electroless Co Alloy Thin Films
임태호, 김재정 |
| 2 |
Korean Chemical Engineering Research, 54 (6), pp.723-733 (2016)
구리 전해 도금을 이용한 실리콘 관통 비아 채움 공정
Through-Silicon-Via Filling Process Using Cu Electrodeposition
김회철, 김재정 |
| 3 |
Korean Chemical Engineering Research, 53 (4), pp.517-523 (2015)
중성 영역 구리 화학적 기계적 평탄화 공정에서의 작용기에 따른 부식방지제의 영향성 연구
Study on the Effects of Corrosion Inhibitor According to the Functional Groups for Cu Chemical Mechanical Polishing in Neutral Environment
이상원, 김재정 |
| 4 |
Korean Chemical Engineering Research, 52 (1), pp.26-39 (2014)
반도체 소자용 구리 배선 형성을 위한 전해 도금
Electrodeposition for the Fabrication of Copper Interconnection in Semiconductor Devices
김명준, 김재정 |
| 5 |
Korean Chemical Engineering Research, 47 (2), pp.141-149 (2009)
구리 및 은 금속 배선을 위한 전기화학적 공정
Electrochemical Metallization Processes for Copper and Silver Metal Interconnection
권오중, 조성기, 김재정 |
| 6 |
HWAHAK KONGHAK, 39 (6), pp.721-726 (2001)
갈바니 치환 증착 방법을 이용한 확산방지막 위에서의 구리 시드층 형성
Fabrication of Cu Seed Layer on TiN Barrier using Galvanic Displacement Deposition
김재정, 강무성 |
| 7 |
HWAHAK KONGHAK, 38 (2), pp.230-235 (2000)
다결정 실리콘 식각 후처리에 대한 세정 효과 해석
The Cleaning Effect Analysis on Post Treatment of Polysilicon Etching
이창원, 이종대, 최상준, et al. |
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