Korean Chemical Engineering Research

Total 2 articles [ 저자: 김일욱 ]

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1	HWAHAK KONGHAK, 34 (4), pp.502-510 (1996) 플라즈마 식각에서 마스크의 경사진 단면모양이 식각단면에 미치는 영향에 관한 전산모사 연구 Simulation Study on the Effect of Tapered Mask Geometry on Etching 조병옥, 한재현, 김일욱, et al.
2	HWAHAK KONGHAK, 32 (4), pp.606-613 (1994) 공정변수를 사용한 플라즈마 식각단면의 전사모사 Simulation of Plasma Etch Profile Based on Process Variables 조병옥, 김일욱, 문상흡

Print:	ISSN 0304-128X
Online:	ISSN 2233-9558