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Search / Korean Journal of Chemical Engineering
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| Total 2 articles [ 저자: 김광철 ] |
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HWAHAK KONGHAK, 38 (5), pp.676-682 (2000)
Si(100) 기판 위에 성장된 3C-SiC(100)의 특성 연구
Characterization of 3C-SiC(100) Grown on Si(100) Substrate
김광철, 박찬일, 노재일, et al. |
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HWAHAK KONGHAK, 35 (4), pp.504-513 (1997)
HF-산화제-H2O 수용액에서 Si 식각반응의 속도론적 연구
A Study on Kinetics of Silicon Etching Reaction in HF-Oxidizing Agents-H2O Solutions
서영훈, 김선중, 김광철, et al. |
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