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Total 1 articles [ 키워드: Post etch residue ]
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1 Korean Chemical Engineering Research, 59 (4), pp.632-638 (2021)
아민과 카르복실산이 함유된 수계용액의 구리 배선 공정의 세정특성
Cleaning Behavior of Aqueous Solution Containing Amine or Carboxylic Acid in Cu-interconnection Process

고천광, 이원규