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Total 2 articles [ 키워드: Photoresist ] |
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Article |
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Korean Chemical Engineering Research, 44 (5), pp.498-504 (2006) 고밀도 CHF3 플라즈마에서 바이어스 전압과 이온의 입사각이 Photoresist의 식각에 미치는 영향 Effects of Bias Voltage and Ion-incident Angle on the Etching of Photoresist in a High-density CHF3 Plasma 강세구, 민재호, 이진관, et al. |
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Korean Chemical Engineering Research, 43 (1), pp.27-32 (2005) 공용매로 변형된 초임계 이산화탄소를 이용한 이온 주입 포토레지스트 세정 Stripping of Ion-Implanted Photoresist Using Cosolvent-Modified Supercritical Carbon Dioxide 정인일, 김주원, 이상윤, et al. |
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