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| Total 5 articles [ 저자: 한윤봉 ] |
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Article |
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Korean Chemical Engineering Research, 49 (3), pp.357-360 (2011)
플라즈마 원자층 증착 방법을 이용한 N-doped ZnO 나노박막의 구조적·광학적·전기적 특성
Structural, Optical and Electrical Properties of N-doped ZnO Nanofilms by Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition
김진환, 양완연, 한윤봉 |
| 2 |
Korean Chemical Engineering Research, 43 (1), pp.76-79 (2005)
Cl2/Ar 유도 결합 플라즈마를 이용한 NiFe, NiFeCo, Ta의 건식식각
Dry Etching of NiFe, NiFeCo, and Ta in Cl2/Ar Inductively Coupled Plasma
라현욱, 박형조, 김기주, et al. |
| 3 |
Korean Chemical Engineering Research, 42 (6), pp.712-715 (2004)
Hard Mask 용 SiO2의 NF3/Ar ICP 식각특성과 실험계획법과의 비교
Dry Etching of SiO2 Hard Mask in NF3/Ar Inductively Coupled Plasmas and Comparison with Design of Experiments
박형조, 라현욱, 남기석, et al. |
| 4 |
Korean Chemical Engineering Research, 42 (4), pp.447-450 (2004)
플라즈마 화학증착법에 의한 질화탄소규소 박막의 성장과 Si 나노점 형성
Formation of Si Nano Dots and Silicon Carbon Nitride Films by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
홍주형, 김상훈, 한윤봉 |
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HWAHAK KONGHAK, 27 (4), pp.531-547 (1989)
Turbulent Gas Jet 내에서의 유화동광물 미립자의 연소
The Combustion of Copper Sulfide Conecntrate Particles in a Turbulent Gas Jet
손홍용, 서경원, 한윤봉 |
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