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| Total 22 articles [ 저자: 이원규 ] |
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Article |
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Korean Chemical Engineering Research, 60 (3), pp.452-458 (2022)
기-액 하이브리드 대기압 플라즈마 반응기 제작 및 특성 분석
Fabrication and Characterization of Gas-liquid Hybrid Reactor Equipped with Atmospheric Pressure Plasma
권흥수, 이원규 |
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Korean Chemical Engineering Research, 59 (4), pp.632-638 (2021)
아민과 카르복실산이 함유된 수계용액의 구리 배선 공정의 세정특성
Cleaning Behavior of Aqueous Solution Containing Amine or Carboxylic Acid in Cu-interconnection Process
고천광, 이원규 |
| 3 |
Korean Chemical Engineering Research, 59 (3), pp.443-449 (2021)
전분-구연산을 기반으로 한 생분해성 비산방지용 소재의 제조 및 특성 분석
Manufacturing and Characteristics of Biodegradable Materials Based on Starch-Citric Acid for Anti-Particulate Scattering
이지성, 이원규 |
| 4 |
Korean Chemical Engineering Research, 58 (3), pp.474-479 (2020)
유리기판 박막화를 위한 습식공정에서 식각액 성분의 영향
Effects of Ingredients of Wet Etchant on Glass Slimming Process
신영식, 이원규 |
| 5 |
Korean Chemical Engineering Research, 54 (4), pp.548-554 (2016)
산화구리 잔유물 제거를 위한 카르복시산 함유 반수계 용액의 세정특성
Characteristics of Semi-Aqueous Cleaning Solution with Carboxylic Acid for the Removal of Copper Oxides Residues
고천광, 이원규 |
| 6 |
Korean Chemical Engineering Research, 49 (6), pp.835-839 (2011)
토치형 상압 플라즈마의 방전특성과 미생물의 국부 살균효과
Discharge Properties of Torch-Type Atmospheric Pressure Plasma and Its Local Disinfection of Microorganism
손향호, 이원규 |
| 7 |
Korean Chemical Engineering Research, 48 (3), pp.355-358 (2010)
유도 결합형 저온 플라즈마 처리에 따른 폴리카보네이트 표면 특성 변화
Influence of Inductively Coupled Plasma on Surface Properties of Polycarbonate
원동수, 이원규 |
| 8 |
Korean Chemical Engineering Research, 47 (1), pp.79-83 (2009)
Cl2/HBr/O2 고밀도 플라즈마에서 비정질 실리콘 게이트 식각공정 특성
Characteristics of Amorphous Silicon Gate Etching in Cl2/HBr/O2 High Density Plasma
이원규 |
| 9 |
Korean Chemical Engineering Research, 46 (2), pp.408-413 (2008)
저압급속열산화법과 플라즈마확산산화법에 의한 실리콘 산화박막의 제조
Fabrication of Ultrathin Silicon Oxide Layer by Low Pressure Rapid Thermal Oxidation and Remote Plasma Oxidation
고천광, 이원규 |
| 10 |
Korean Chemical Engineering Research, 45 (6), pp.638-647 (2007)
생산유전의 CO2 공법 적용성 평가를 위한 평가차트 개발 및 응용
The Development of Evaluation Chart for the Applicability of CO2 Flooding in Oil Reservoirs and Its Applications
권순일, 조현진, 하세훈, et al. |
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