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Total 24 articles [ 저자: 문상흡 ] |
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Article |
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Korean Chemical Engineering Research, 44 (5), pp.498-504 (2006) 고밀도 CHF3 플라즈마에서 바이어스 전압과 이온의 입사각이 Photoresist의 식각에 미치는 영향 Effects of Bias Voltage and Ion-incident Angle on the Etching of Photoresist in a High-density CHF3 Plasma 강세구, 민재호, 이진관, et al. |
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HWAHAK KONGHAK, 34 (4), pp.502-510 (1996) 플라즈마 식각에서 마스크의 경사진 단면모양이 식각단면에 미치는 영향에 관한 전산모사 연구 Simulation Study on the Effect of Tapered Mask Geometry on Etching 조병옥, 한재현, 김일욱, et al. |
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HWAHAK KONGHAK, 32 (6), pp.802-808 (1994) 열필라멘트 화학증착법을 이용한 다이아몬드 합성에서 평형조성의 계산 Thermodynamic Calculation of Equilibrium Compositions in the Diamond Synthesis Using Hot-Filament Chemical Vapor Deposition Method 최윤, 박용찬, 김재영, et al. |
4 |
HWAHAK KONGHAK, 32 (4), pp.606-613 (1994) 공정변수를 사용한 플라즈마 식각단면의 전사모사 Simulation of Plasma Etch Profile Based on Process Variables 조병옥, 김일욱, 문상흡 |
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HWAHAK KONGHAK, 32 (3), pp.431-440 (1994) 이온의 탄성충돌모델에 의한 플라즈마 식각단면의 전산모사 Simulation of Plasma Etch Profile based on a Model of Elastic Collision between Ions and Neutrals 한재현, 조병옥, 정찬화, et al. |
6 |
HWAHAK KONGHAK, 31 (4), pp.415-421 (1993) 석탄가스화 반응에서의 알칼리금속 혼합염촉매의 활성화에 관한 연구 A TDS Study on the Activation of Mixed Alkali Metal Salts during Catalytic Coal Gasification 박진남, 이화영, 이현구, et al. |
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HWAHAK KONGHAK, 31 (4), pp.483-491 (1993) 수소처리용 니켈-텅스텐 폐촉매의 재생 연구 Regeneration of Nickel-Tungsten Hydrotreating Catalysts 김일섭, 한정현, 문상흡 |
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HWAHAK KONGHAK, 31 (2), pp.235-243 (1993) 열분해 속도에 따른 챠의 표면 및 반응특성변화 Variation in the Surface and the Gasification Properties of Coal Chars with Pyrolysis Rates 박남수, 문상흡, 이호인, et al. |
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HWAHAK KONGHAK, 30 (4), pp.415-422 (1992) 알칼리 금속촉매하에서 여러 가지 석탄 챠의 수증기 가스화 반응특성 Kinetics of Steam Gasification of Various Coal Chars Catalyzed by Alkali Metal 최영교, 문상흡, 이호인, et al. |
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HWAHAK KONGHAK, 30 (3), pp.292-302 (1992) 무촉매 및 등온 반응조건에서 여러 가지 석탄 챠의 수증기 가스화 반응특성 Kinetics of Non-Catalytic Steam Gasification of Various Coal Chars under Isothermal Condition 최영교, 문상흡, 이호인, et al. |
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