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Total 4 articles [ 저자: 고천광 ] |
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Article |
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Korean Chemical Engineering Research, 59 (4), pp.632-638 (2021) 아민과 카르복실산이 함유된 수계용액의 구리 배선 공정의 세정특성 Cleaning Behavior of Aqueous Solution Containing Amine or Carboxylic Acid in Cu-interconnection Process 고천광, 이원규 |
2 |
Korean Chemical Engineering Research, 54 (4), pp.548-554 (2016) 산화구리 잔유물 제거를 위한 카르복시산 함유 반수계 용액의 세정특성 Characteristics of Semi-Aqueous Cleaning Solution with Carboxylic Acid for the Removal of Copper Oxides Residues 고천광, 이원규 |
3 |
Korean Chemical Engineering Research, 46 (2), pp.408-413 (2008) 저압급속열산화법과 플라즈마확산산화법에 의한 실리콘 산화박막의 제조 Fabrication of Ultrathin Silicon Oxide Layer by Low Pressure Rapid Thermal Oxidation and Remote Plasma Oxidation 고천광, 이원규 |
4 |
Korean Chemical Engineering Research, 44 (5), pp.483-488 (2006) Remote 플라즈마에서 위치 및 반응기체에 따른 PMMA의 식각 특성 분석 Influence of Loading Position and Reaction Gas on Etching Characteristics of PMMA in a Remote Plasma System 고천광, 이원규 |
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